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仪器型号 | VMS-5040H | ||
工作台 | 玻璃台尺寸（mm） | 570*470 | |
运动行程（mm） | 500*400 | ||
仪器重量（kg） | 1000 | ||
外形尺寸（mm） | 1270*1150*1860 | ||
Z轴升降行程 | 200 mm | ||
X、Y、Z数显分辨力 | 0.5μm | ||
工作距离 | 92 mm | ||
X、Y坐标示值误差 | (3+L/75) μm (L为被测长度，单位：mm) | ||
影 像 系 统 | 摄像机 | 彩色CCD | |
变倍镜头倍率 | 0.7X—4.5X | ||
物方视场 | 11.1mm～1.7mm | ||
视频倍率 | 23.5X～148X | ||
光源系统 | 表面光源与透射光源均用LED，亮度可调 | ||